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        139-2342-9552

        6寸半自動(dòng)劃片機(jī)

        BT3252 精密砂輪劃片機(jī)

        高效率高精度高性能

        BT3252 精密砂輪劃片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽(yáng)能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。 




        139-2342-9552 獲取定制化方案

        產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例

        產(chǎn)品介紹

        應(yīng)用:

        6寸硅片、陶瓷、PCB板、EMC、石英、玻璃、砷化鎵、鈮酸鋰、碲鋅鎘CZT等材料的精密切割;廣泛用于IC集成電路,LED砷化鎵芯片、二極管、三極管、LED封裝、NTC、MEMS、IC、光伏、醫(yī)療器械、閃爍晶體等行業(yè)。

        其他特征:

        低氣壓、水壓、工作臺(tái)伺服、轉(zhuǎn)臺(tái)伺服、主軸驅(qū)動(dòng)、測(cè)高系統(tǒng)、控制系統(tǒng)的故障報(bào)警,操作腔門安全鎖,漏水檢測(cè)、主軸電流監(jiān)控、真空不足保護(hù)功能。



        產(chǎn)品參數(shù)

        項(xiàng)目

        產(chǎn)品型號(hào)

        BT3252 精密砂輪劃片機(jī)


        加工尺寸(Processing size)

        ≤150mm

        運(yùn)動(dòng)方式(Movement style)

        單軸半自動(dòng)

        X軸(X-axis)

        最大速度(Max speed)

        600mm/s

        直線度(Straightness)

        2μm全行程

         

        Y軸(Y-axis)

        有效行程(Valid trip)

        150mm

        定位精度(Positioning accuracy)

        2μm全行程

        分辨率(Resolution)

        0.1μm

        Z軸(Z-axis)

        有效行程(Valid trip)

        35mm

        最大刀輪直徑(Max tool wheel diameter)

        60mm

        T軸(T-axis)

        轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍(Rotation angle range)

        380°

        主軸(Spindle)

        最大轉(zhuǎn)速(Max speed)

        40000rpm/min

        額定輸出功率(Rated output power)

        直流/交流1.5KW

         

         

        基礎(chǔ)規(guī)格

        (Basic specifications)

        電源(Power supply)

        220V/50Hz

        壓縮空氣(Compressed air)

        0.5-0.6Mpa Max 180L/min

        切削水(Cutting water)

        0.2-0.3Mpa Max 4L/min

        排風(fēng)流量(Exhaust air volume)

        2m3/min

        尺寸(Size)

        660mm×1108mm×1680mm

        重量(Weight)

        600KG



        樣品案例

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